PKR 251, hem Pirani hem de Cold Cathode (Penning) sensör teknolojilerini bir arada barındıran gelişmiş bir kombine vakum ölçerdir.
Bu sayede ultra yüksek vakum seviyelerinden atmosfer altı basınca kadar geniş bir ölçüm aralığını tek sensörle kapsar:
5×10⁻⁹ – 1×10³ hPa.
Tungsten filament, Mo (molibden) anot, paslanmaz çelik gövde ve Al₂O₃ seramik feedthrough yapısı sayesinde agresif ortamlara karşı yüksek dayanım sağlar.
Elektronik kısmı çıkarıldığında 150 °C bake-out yapılabilmesi, sensörü yüksek sıcaklıklı vakum proseslerine uygun hale getirir.
Yüksek doğruluk (%30), yüksek tekrarlanabilirlik (%5) ve 300 metreye kadar kablo uzunluğu desteği ile endüstriyel, bilimsel ve UHV uygulamalarının tümü için mükemmel bir çözümdür.
|
Özellik |
Değer |
|---|---|
|
Çalışma Sıcaklığı |
5 – 55 °C |
|
Bake-Out Sıcaklığı (Elektronik sökülmüş) |
≤ 150 °C |
|
Bağlantı Flanşı |
DN 25 ISO-KF |
|
Anot Malzemesi |
Molibden (Mo) |
|
Feedthrough |
Al₂O₃ (seramik), Cam |
|
Filament |
Tungsten |
|
Gövde Malzemesi |
Paslanmaz çelik |
|
Giriş Voltajı |
15 – 30 V DC |
|
Ölçüm Yöntemi |
Pirani + Cold Cathode |
|
Ölçüm Aralığı |
5×10⁻⁹ – 1×10³ hPa |
|
Ölçüm Doğruluğu |
%30 (1×10⁻⁸ – 1×10² hPa) |
|
Tekrarlanabilirlik |
%5 |
|
Çıkış Sinyali (Ölçüm Aralığı) |
1.8 – 8.6 V |
|
Minimum Yük (Load) |
10 kΩ |
|
Güç Tüketimi |
2 W |
|
Maksimum Basınç |
1×10⁴ hPa |
|
Koruma Elemanı (Seal) |
FKM / FPM |
|
Özel Özellik |
İçten FPM ile sızdırmaz (Interior FPM sealed) |
|
Hacim (Volume) |
20 cm³ |
|
Ağırlık |
995 g |
|
Kablo Uzunluğu (Max.) |
300 m |
Parçacık hızlandırıcıları
Yüzey bilimi ve analiz sistemleri (XPS, AES, SIMS)
Vakum odaları ve UHV deney düzenekleri
Fizik laboratuvarlarında düşük basınç ölçümleri
Yüksek doğruluk gerektiren deneysel vakum prosesleri
Kalibrasyon ve vakum geliştirme çalışmaları
Metalurji vakum fırınları
Sinterleme ve brazing sistemleri
Endüstriyel kaplama sistemleri (PVD, CVD)
Wafer işleme sistemleri
Plasma odaları ve kuru aşındırma (etching) süreçleri
Helium kaçak test makineleri
Vakumlu test odaları
Kombine sensör teknolojisi: Pirani + Cold Cathode → ultra geniş ölçüm aralığı
Ultra yüksek vakum ölçebilir: 5×10⁻⁹ hPa
150 °C bake-out → yüksek sıcaklıklı proseslere uygun
Seramik feedthrough → yüksek izolasyon ve dayanım
Paslanmaz çelik gövde → uzun ömür
Yüksek tekrarlanabilirlik (%5)
300 m kablo uzunluğu → geniş tesislerde esnek montaj
DN 25 ISO-KF → tüm vakum sistemlerine evrensel uyum
Düşük güç tüketimi (2 W)
Geniş voltaj aralığı → kontrol sistemlerine kolay entegrasyon
