IKR 251, ultra yüksek vakum (UHV) seviyelerinin ölçülmesi için tasarlanmış yüksek hassasiyetli bir Cold Cathode (Penning) aktif vakum transmitteridir.
Ölçüm aralığı 2×10⁻⁹ – 1×10⁻² hPa ile UHV bölgesinden düşük basınç aralığına kadar geniş bir ölçüm spektrumunu kapsar.
Mo (molibden) anot, paslanmaz çelik gövde ve Al₂O₃ seramik feedthrough yapısı, sensöre yüksek sıcaklık ve kimyasal dayanım kazandırır.
Elektronik kartı söküldüğünde 150 °C bake-out yapılabilmesi, bilimsel vakum uygulamalarında büyük avantaj sağlar.
Düşük güç tüketimi (2 W), geniş voltaj aralığı (15–30 V DC) ve 500 metreye kadar kablo desteği sayesinde büyük endüstriyel tesisler ve araştırma altyapıları için son derece uygundur.
|
Özellik |
Değer |
|---|---|
|
Çalışma Sıcaklığı |
5 – 55 °C |
|
Bake-Out Sıcaklığı (Elektronik sökülmüş) |
≤ 150 °C |
|
Bağlantı Flanşı |
DN 25 ISO-KF |
|
Anot Malzemesi (Anode) |
Molibden (Mo) |
|
Feedthrough |
Al₂O₃ (seramik) |
|
Gövde Malzemesi |
Paslanmaz çelik |
|
Giriş Voltajı |
15 – 30 V DC |
|
Ölçüm Yöntemi |
Cold Cathode |
|
Ölçüm Aralığı |
2×10⁻⁹ – 1×10⁻² hPa |
|
Ölçüm Doğruluğu |
%30 (1×10⁻⁸ – 1×10⁻³ hPa) |
|
Tekrarlanabilirlik |
%5 |
|
Çıkış Sinyali (Ölçüm Aralığı) |
1.8 – 8.5 V |
|
Minimum Yük (Load) |
10 kΩ |
|
Güç Tüketimi |
2 W |
|
Maksimum Basınç |
1×10⁴ hPa |
|
Koruma Elemanı (Seal) |
FKM |
|
Özel Özellik |
İçten FPM sızdırmaz |
|
Hacim (Volume) |
20 cm³ |
|
Ağırlık |
0.7 g (muhtemelen 700 g olmalı; üretici belgelerinde doğrulama önerilir) |
|
Kablo Uzunluğu (Max.) |
500 m |
UHV (Ultra High Vacuum) deney düzenekleri
Yüzey fiziği çalışmaları (XPS, AES, STM, UHV mikroskopi)
Parçacık hızlandırıcıları ve beam hatları
Vakumlu fırınlar
Metalurjik prosesler (sinterleme, brazing)
Yüksek vakumlu proses odaları
Wafer kaplama sistemleri
Plasma odaları
İyon implantasyon süreçleri
PVD, CVD, IAD sistemleri
İnce film üretim hatları
Optik ve dekoratif kaplama sistemleri
Helium kaçak test platformları
Proses hatlarında vakum seviyesi izleme
UHV ölçümü: 2×10⁻⁹ hPa’ya kadar ultra yüksek vakum tespiti
Cold Cathode teknolojisi → filament gerektirmez, uzun ömür
150 °C bake-out → yüksek sıcaklık proseslerine uygun
Tam metal + seramik izolasyon → maksimum kimyasal ve termal dayanım
500 m uzunluğa kadar kablo kullanılabilir → büyük tesislerde ideal
Kompakt, dayanıklı ve düşük bakım ihtiyacı
DN 25 ISO-KF → tüm vakum sistemlerine kolay entegrasyon
